Studium použití Curling sondy pro technologické plazma

Abstract

Cílem této bakalářské práce bylo vyrobení Curling sondy v laboratorních podmínkách a ověřením její funkčnosti v technologickém plazmatu. Curling sonda představuje relativně novou vysokofrekvenční metodu diagnostiky plaz- matu, se kterou jsme schopni určit koncentraci elektronů v plazmatu. V úvodu práce je popsaná nezbytná teorie k pochopení fungování Curling sondy a také Langmuirovy sondy, kterou používáme jako referenční. Následně popisujeme výrobu Curling sondy a nakonec ověřujeme její funkčnost v technologickém plazmatu ve srovnání s Langmuirovou sondou. 1

The aim of this bachelor thesis was to produce a curling probe under labora- tory conditions and to verify its functionality in a technological plasma. Curling probe represents a relatively new high-frequency method of plasma diagnostics with which we are able to determine the electron density in the plasma. In the introduction of this paper, the necessary theory to understand the behaviour of the Curling and Langmuir probe is described, latter probe is used as a refer- ence. We then describe the making of the Curling probe and finally we verify its functionality in a technological plasma in comparison with the Langmuir probe. 1